質(zhì)量流量控制器,即Mass Flow Controller（縮寫(xiě)為MFC）,不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶(hù)可根據需要進(jìn)行流量設定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì )使其偏離設定值。簡(jiǎn)單地說(shuō),質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩流裝置,是一個(gè)可以手動(dòng)設定或與計算機聯(lián)接自動(dòng)控制的氣體穩流裝置。
氣體質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調節閥門(mén)和放大控制器等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無(wú)需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大,放大后的流量檢測電壓與設定電壓進(jìn)行比較,再將差值信號放大后去控制調節閥門(mén)，閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設置有穩壓電源,數字電壓表,設定電位器,外設、內設轉換和三位閥控開(kāi)關(guān)等。
一般而言，僅對流量進(jìn)行計量或監測時(shí)，用質(zhì)量流量計；需要對流量進(jìn)行控制時(shí)，用質(zhì)量流量控制器。某些測量場(chǎng)合，用二者皆可，如對毛細管流通能力的測量,當定壓測流的時(shí)候,用質(zhì)量流量計;當定流測壓時(shí),需要用質(zhì)量流量控制器。注意,當質(zhì)量流量控制器處于清洗狀態(tài)時(shí),也可以當質(zhì)量流量計使用,只不過(guò)氣壓降要比普通質(zhì)量流量計大一些。
